NOA电子材料与化学品实验室专注于半导体及泛半导体领域的综合性检测、分析技术,实验室服务能力覆盖晶圆材料、光刻材料、抛光耗材、电子化学品及电子级特气等关键材料的杂质分析与方法开发,同时在硅片与化合物晶圆污染物检测领域持续开展创新方法研究。
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